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A Nasschemie:
1 RCA-Digestorium
2 KOH, PNA, ... Digestorium
3 HF Digestorium
B Photolithographie:
4 Entwicklungs-Digestorium
5 Belackungs-Digestorium
6 Belichter MA6
7 Alu-Aufdampfanlage
8
9 RIE-Ätzer (Oxford Instruments)
10 RIE-Ätzer (Oxford Instruments)
11 RTP-System (ATV)
12
13 Analytik
a) Spektralellipsometer
b) Ellipsometer 632,8 nm
c) Interferometer S2000
d) Profilometer
e) Kamera / Mikroskop
14 4-Spitzen-Messplatz
15 Elektrische Charakterisierung
16 Oxidations- und Temperofen (Inotherm)
17 RTP-Anlage (Mattson)
18 Oxidations-Ofen + LPCVD System (ATV)
19 LPCVD-Nitridation
20 Centura-Cluster (Applied Materials)