EDX

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Energiedispersive Röntgenanalyse (EDX)

Die Funktionsweise der energiedispersiven Röntgenanalyse (EDX) am Rasterelektronenmikroskop (REM) basiert auf der Wechselwirkung der Atome mit dem Elektronenstrahl. Dabei wird ein Elektron aus einer inneren Schale der Atome herausgeschlagen und die entstandene Lücke durch ein energiereicheres Elektron aus einer äußeren Hülle aufgefüllt. Die Energiedifferenz der beiden Elektronen wird in Form eines Röntgenquants frei, der für jedes Element charakteristisch ist und somit dessen Nachweis qualitativ und quantitativ ermöglicht. Durch die Kombination des bildgebenden Rasterverfahrens im REM mit der Elementanalyse ist es ebenfalls möglich Elementverteilungsbilder aufzunehmen.

Gerätebeschreibung

Bei dem Gerät handelt es sich um ein X-MaxN 50 EDX-System der Firma Oxford Instruments mit einem SDD-Detektor (Si(Li)-Detektor) mit 50 mm2 Fläche. Zur Aufnahme und Verarbeitung der Daten wird die Software AZtec TruMap verwendet.

 

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