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Universität der Bundeswehr München

Cleanroom 300 (Back End of Line)

400 m2 of fully CMOS compatible cleanroom facilities and special processes, class 100

Wet benches 300
PECVD
Sputter Tool
Sputter Tool 2
Institute of Physics
Universität der Bundeswehr München
Werner-Heisenberg-Weg 39
85577 Neubiberg
Germany, EU
  • +49 89-6004-4036
  • physik@unibw.de

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