This page is under construction !

Reinraumschema.gif

 

A Nasschemie:
    1   RCA-Digestorium
    2   KOH, PNA, ... Digestorium
    3   HF Digestorium

B Photolithographie:
    4   Entwicklungs-Digestorium
    5   Belackungs-Digestorium
    6   Belichter MA6

    7   Alu-Aufdampfanlage
    8
    9   RIE-Ätzer (Oxford Instruments)
  10  RIE-Ätzer (Oxford Instruments)
  11   RTP-System (ATV)                                    
  12

  13   Analytik
          a)  Spektralellipsometer
         
b)   Ellipsometer 632,8 nm
         
c)   Interferometer S2000
         
d)   Profilometer
         
e)   Kamera / Mikroskop
 
14   4-Spitzen-Messplatz
 
15   Elektrische Charakterisierung
 
16   Oxidations- und Temperofen (Inotherm)
 
17   RTP-Anlage (Mattson)
 
18   Oxidations-Ofen + LPCVD System (ATV)
 
19   LPCVD-Nitridation
 
20   Centura-Cluster (Applied Materials)