Unsere Ausstattung haben wir in 6 Bereiche aufgeteilt:

  • Schichtabscheidung

    - Aufdampfanlage
    - Sputter
    - Centura
    - Modulares Ultrahochvakuum Multikammer System (MUM)
    - Oxidationsofen
    - Nitridationsofen
    - RTP-Ofen
  • Strukturierung und Reinigung

    - Nasschemie
    - Photolithographie
    - Ätzen
    - Plasma-Ätzen
  • Aufbau- und Verbindungstechnik

    - Bonder
    - Flip-Chip-Bonder
  • Analytik

    - Physikalische (chemische) Analyse von Volumenmaterial (bulk-Analyse)
    - Oberflächenanalyse bzw. Analyse dünner Schichten
    - Bildgebende Verfahren
    - Optische Analyseverfahren
    - Prozesskontrolle im Reinraum
  • Messtechnik

    - Elektronische Charakterisierung von Bauelementen
    - Sensormesstechnik