Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik (EIT)
Institut für Plasmatechnik und Mathematik (EIT 1)
Professur für Plasmatechnik und Grundgebiete der Elektrotechnik (EIT 1.1)
Prof. Dr.-Ing. Jochen Schein

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Prozessrelevante Diagnostikverfahren

Die am Institut entwickelten bzw. optimierten Diagnostikverfahren für plasmagestützte Oberflächenbehandlung lassen sich gliedern in